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绝缘体上外延硅薄膜MOS工艺的五管存储单元
KarlGoser
,
MichaelPomper
,
张廷君
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和一般互补MOS 工艺的六管存储单元相比较,五管存储单元所需要的面积大约只占百分之七十。目前已经研制出在绝缘体上外延硅薄膜(简称ESFI)的存储矩阵,这个矩阵的单元面积为5700微米
2
(9密耳
2
)。此外,还提出了一种读出电路和估计了2048单元存储器芯片的典型数据。
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