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    可与硅栅增强/耗尽型 MOS LSI 相容的最小面积只读存储器(ROM)结构

    • 摘要: 一种新型具有最小面积的只读存储器(ROM)已经研制出来。级间使用无比线路,其工艺过程可与使用耗尽型负载的硅栅金属氧化物半导体(MOS)大规模集成(LSI)相容。新型 ROM存储单元的内容由选择 MOS 管的阈值方式决定,或者用增强型或者用耗尽型。和一般的 ROM结构的差别在于后者存储单元内容是由栅氧化层的厚度来区分的。ROM 每单元的尺寸仅196μm2,它较一般的硅栅 ROM 减小45%。

       

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