摘要: 自组件工艺发展以来,半导体器件的集成度愈来愈大。人们逐渐在数字计算机中采用小规模、中规模以致大规模组件。由于MOS器件的工艺简单,隔离简便且功耗低,适宜做成高集成度的电路,所以MOS大规模集成电路发展迅速。其中,特别是大规模集成的随机存储器(MOS RAM)发展最迅速。早在60年代就已在实验室试制出多种方案的MOS RAM(包括动态和静态)。但成批