摘要: 带电荷泵的存储单元占面积较大是进一步发展的困难。但根据目前的工艺水平,芯片的存储容量还可以进一步提高。Intel公司已做出4096位/芯片的带电荷泵的Intel2106随机存储器（RAM）,并在线路和工艺上做了改进,提高了性能和使用灵活性。首先提高了电荷泵振幅的下电平。在7001型存储器中,为了提高泵电流的效率,电荷泵振幅的下电平需要比(V_BX-2)伏还低（对N沟道而言）。这样,电荷泵的输入端就不好加保护器件。2106型的工艺中,在泵电容的栅下采用离子注入的办法注入一层P⁺杂质,以使电