摘要: 本文讨论了有关薄膜整体电子学可靠性的方法。一个电路的总的（固有的）可靠性 P_OA是由单个部件可靠性 Pc、设计可靠性 P_d 和制造可靠性 P_f 的乘积来决定的。文中给出了有关真空沉积薄膜电阻器及电容器的单个元件可靠性的数据。根据8,000,000元件小时数据,所提出的电阻器和电容器的最大失效率分别为每一千小时0.014%和0.057%（可以有60%的可信度）。文中还概述了制造薄膜电路的工艺过程。