摘要: 硅集成电路的测试技术一般是采用比较大的接触探针装置。在测试园片阵列时,由于它存在固有的寄生引线电感和电容,因此就限制了测试脉冲的频率或测试脉冲的上升时间,从而影响了对集成电路的分析。因为大规模集成逻辑电路和存储器电路的设计变得更加复杂且用于高速,这些器件进行在实际应用条件下的功能测试是非常必要的。为了满足这些要求和克服引线引进的寄生问题,已研制出多触点、定点、低电感和电容的测试探头。因为探头指