摘要: 为了实现双极型逻辑LSI的高速化、大容量化,有必要综合提高以下所述工艺、器件、电路等各方面的技术。缩小元件尺寸,减少隔离所占面积,对于谋求更大的集成度是非常重要的。现在双极型LSI一般是采用pn结隔离技术,但是近几年来,研究颇有成绩的氧化物隔离单块电路(Oxim)、集电极扩散隔离、等平面隔离等等新的隔离技术在改进这样的问题上是非常有效的。可以认为如果再用上自对准技术和精细加工技术等等,双极型ISI的大容量化是相当有希望的。